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定義-微小電気機械システム（MEMS）とはどういう意味ですか？
微小電気機械システム（MEMS）は、電気で駆動される小さな機械モジュールです。 NEMSは、コンピューターをセンサー、アクチュエーター、ミラーなどの機械的モジュールと統合します。 それらは、修正されたデバイス製造技術を使用する費用対効果の高いシステムです。
MEMSにはさまざまな用途があり、さまざまなコンポーネント、小型化、および新しい標準的な統合された電気機械システムを活用して、幅広い製造設計アプローチが採用されています。 MEMSは、水酸化カリウム（KOA）などのウェットエッチング、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）などのドライエッチング、成形およびめっき、放電機械（EDM）、および小型デバイスを製造するその他の技術に使用できます。
微小電気機械システムは、マイクロ電子システム、マイクロマシン、マイクロシステム技術またはスマートマターとも呼ばれます。
Techopediaは、微小電気機械システム（MEMS）について説明します
MEMSは、人間の髪の毛の幅よりも小さくすることができ、次のようないくつかのコンポーネントを含めることができます。
- マイクロセンサー
- マイクロアクチュエータ
- マイクロプロセッサー
- データ処理の中央ユニット
- 外部要素と対話するためのコンポーネント
MEMSは大きな表面積対体積比を持ち、シリコン製造技術を使用して構築されています。
MEMSデバイスには、機械部品とともに使用される小さなシリコンチップ上に配置されるマイクロ回路が含まれます。 このテクノロジーは、アレイとして、または個別に機能しながら、機械的プロセスを制御、検知、またはアクティブ化する多種多様なデバイスをサポートしています。
現在、MEMSは単一の別個のマイクロセンサーまたはマイクロアクチュエータをアーキテクチャに組み込んでいますが、将来的にはより複雑な同化レベルが発生する可能性があります。 次の開発は、多くの個々の機能を1つのシステムに組み込むことです。
