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定義-カーフレスウェーハとはどういう意味ですか?
カーフレスウェーハ処理とは、シリコン結晶のスラブからシリコンの非常に薄いスライス(ウェーハ)を製造するプロセスのことです。 この方法により、材料の無駄が最小限に抑えられるため、高価なシリコンのコストを節約しながら高い効率が保証されます。 カーフ、金属の小さなチップまたは削りくずは、廃棄物として失われないため、より多くのウェーハを原料から製造できます。
Techopediaはカーフレスウエハーについて説明します
名前が示すように、カーフレスウェーハは、生産の終わりまでに最小限の切り溝がある方法です。 これは、効率的な生産方法によりコストを削減できることを意味します。
切り溝のないウェーハの2つの方法が実行されます:注入とc開プロセスと応力リフトオフ法。 注入とc開は、最初にシリコンにイオンを導入または注入することにより、インゴットからシリコンのcleavage開を除去する2段階のプロセスです。 ストレスリフトオフプロセスは、薄膜とシリコンの界面にストレスを加えてから、細いワイヤを使用してウェーハを切断することにより、シリコンをリフトオフします。
